纳芯微推出汽车级集成式绝压传感器：NSPAS3/NSP163X系列

随着环保法规以及排放标准的升级，汽车/摩托车发动机为了实现充分燃烧，减少排放的目的，通常需要在进气歧管上安装（温度）压力传感器（TMAP）来快速精确的控制空燃比，以实现动力性、燃油经济性和排放之间的平衡，而车规级亚毫秒响应时间绝压传感器是内燃机系统实现闭环控制的关键器件之一。同时对于油改气的车型，也需要通过安装喷油嘴附近的压力传感器来检测进气压力，以实现充分燃烧和减少排放的目的。
苏州纳芯微电子股份有限公司(以下简称“纳芯微电子”)日前宣布推出汽车集成式绝压传感器NSPAS3 / NSP163X系列。

纳芯微NSPAS3系列是一款基于硅的压阻效应并采用先进的MEMS微加工工艺设计而成的汽车级集成式绝压传感器。该产品主要采用汽车级信号调理芯片对MEMS芯体（NSP163x）的输出进行校准和补偿，能将10kPa至400kPa的压力信号转换为可自定义输出范围（0~5V）的模拟输出信号。内置的车规级MEMS绝压压力芯体（NSP163x）是基于高灵敏度的单晶硅压阻效应并采用先进的硅硅键合CSOI MEMS微加工工艺设计而成，其制造平台经过IAFTF16949认证，每片晶圆都通过100% AOI检测以及CP测试，产品在生命周期内精度和稳定性优于±1%F.S.，此外，AEC-Q103可靠性标准也正在认证中。
该系列MEMS晶圆芯体（NSP163x）以及合封产品（NSPAS3）主要应用于汽车进气歧管压力检测以及摩托车进气通路压力检测，也可用于混动/新能源真空助力系统（VBS）和电池包压力检测，在工业控制，气象站等应用上也有它的用武之地。

NSPAS3 / NSP163X系列主要特点
►高精度低功耗
高度线性，稳定性好，无需校准，100%温度补偿，0℃~85℃输出精度优于±1%F.S.，-40℃~130℃全温范围内精度优于±1.5%F.S.，且工作电流小于3mA。
►多种输出方式
支持模拟比例/绝对输出，适用于多种应用需求，简单便利，可移植性好。
►车规级标准
高达18V的高压供电，支持反压-24V过压28V保护，可承受3x过载压力和5x爆破压力，具有较高可靠性与稳定性。
►响应迅速
小于0.8ms的快速响应时间，可以快速控制空燃比。
►定制化产品
10kPa~400kPa内量程可定制，支持多种压力应用场景，灵活性高，也可提供MEMS晶圆定制化产品。
纳芯微NSPAS3同样采用MEMS压阻技术，能够很好的兼容外商产品，无缝实现国产化替代，且响应时间更快，功耗更低，还具有更强的过载与耐爆破压力能力。相较于外商芯片供应，纳芯微作为国产芯片提供商，拥有自主研发的MEMS设计与封装技术以及多压力温度点自动化批量标定技术，能够更好的保证交付，降低客户供应链风险。同时纳芯微还可以根据客户需求提供定制化MEMS晶圆产品以及合封产品，满足不同场景的应用需求。
目前可提供工程样品的还有模组封装（5kPa~150kPa）的汽车级表压集成传感器以及汽车级贵金属差压MEMS传感器晶圆，后续都将陆续推向市场。